9月29日下午，嘉興市副市長倪滬平蒞臨我司考察調(diào)研，市政府副秘書長王榮、市科技局、南湖區(qū)政府、嘉興科技城相關領導陪同調(diào)研。科民電子研發(fā)部負責人明帥強、市場部負責人郭耀亮、生產(chǎn)部負責人陶曉俊等參加接待并陪同調(diào)研。

  倪滬平副市長一行來到微電子儀器與設備工程中心及嘉興科民電子設備技術有限公司，詳細聽取了負責人對中心的發(fā)展介紹、產(chǎn)品技術、市場情況，并重點參觀了集成電路科教融合儀器及教學創(chuàng)新示范平臺，平臺開設晶圓制造、光刻技術、二維薄膜的制備技術及實踐等系列課程，通過聯(lián)合培養(yǎng)方式已培養(yǎng)碩士研究生超過30名。

他對中心及科民電子的發(fā)展模式和成效表示充分的肯定，并指出，要發(fā)揮平臺公共服務作用，加強區(qū)域性集成電路領域企業(yè)、投資機構(gòu)、雙創(chuàng)平臺、科研院所等的交流互動、資源共享、合作共贏，推動區(qū)域集成電路產(chǎn)業(yè)的協(xié)同發(fā)展。

  嘉興科民電子設備技術有限公司是中國科學院微電子研究所在嘉孵化的高端裝備制造企業(yè)，主要從事原子層沉積（ALD）設備、集束型薄膜沉積系統(tǒng)（Cluster System）、紫外 LED 光刻機（Lithography）、反應離子刻蝕機（RIE）等高端半導體設備的研發(fā)和生產(chǎn)。公司所研發(fā)的集成電路高端裝備應用于尖端科技，助力客戶進行高尖端科學研究，客戶包括清華大學、北京大學、復旦大學、中科院半導體研究所等國內(nèi)科研單位。

  產(chǎn)品成功通過大型微電子、MEMS 制造企業(yè)產(chǎn)線驗證，成功應用于高新產(chǎn)業(yè)，成為國內(nèi)知名企業(yè)主力產(chǎn)品線ALD 工序唯一設備供應商，是國內(nèi)首個進入大批量制造產(chǎn)業(yè)化市場的原子層沉積機型，打破了進口設備在產(chǎn)業(yè)化市場壟斷地位，成功應用到中芯國際、杭州士蘭微、北方夜視，協(xié)鑫納米等企業(yè)。